In this study we have used scanning electron microscopy and atomic force microscopy (SEM and AFM) for evaluation and measurement of solar cell surfaces micro-geometry. SEM allowed to study large areas of the solar cells with considerable surface roughness (more than 10 μm) while AFM was carried out on relatively smooth areas, but it is truly 3D measurement. Currently, probe methods are more applicable for studying solid materials surfaces. AFM is a 3D surface morphology technique that provides quantitative information about surfaces, and characterizes roughness of the surface, and sizes of morphological features, such as grains. and Práce se zabývá měřením a vyhodnocením mikrogeometrického reliéfu povrchu monokrystalického a polykrystalického solárního článku. K měření povrchu byla využita skenovací elektronová mikroskopie SEM a mikroskopie atomárních sil AFM. Metoda SEM umožňuje snímat velké plochy solárních článků se značnou drsností povrchu a metoda AFM byla použita na poměrně hladké plochy, nicméně se jednalo o skutečné 3D měření. Metody využívající snímací sondy se používají pro studium povrchů pevných látek. AFM umožňuje 3D mapování povrchového reliéfu a poskytuje kvantitativní informace o povrchu, dokáže charakterizovat jeho drsnost a další morfologické charakteristiky, jako například zrnitost.