A new prototype of micro electron beam welder MEBW-60/2 was designed and manufactured. The device is improved version of former welder developed in ISI Brno during last 20 years. A vacuum chamber volume is 7 liters. An electron gun power is up to 2 kV and beam energy is up to 60 keV. A two axis motor-driven manipulator is embedded. The welder is completely numerical controlled. All user functions are accessible by a hand-panel. The device is equipped with large workbench necessary for work-piece preparation. Arrangement of the workbench is variable and can fit to customer demands. and Článek popisuje prototyp nové elektronové svářečky MEBW-60/2. Zařízení je zdokonalenou verzí svářečky vyvinuté v Ústavu přístrojové techniky AV ČR v průběhu minulých dvaceti let. Disponuje pracovní komorou o objemu 7 litrů, elektronovou tryskou s urychlovacím napětím do 60 kV a výkonem svazku plynule regulovatelným do 2 kW. Pro pohyb svařence je využit dvouosý motorický manipulátor. Řízení svářečky je plně digitální, všechny funkce jsou uživateli dostupné pomocí přenosného ovládacího pultu. Součástí zařízení je pracovní stůl s pracovní plochou dostatečně velkou pro provedení potřebných přípravných prací. Prostorové uspořádání zařízení je variabilní, což umožňuje jeho přizpůsobení dispozici v místě instalace.
This paper shows possibilities of micromachining by pulse electron beam for creation of fine holes into quartz glass. The influence of different parameters of electron beam (such as beam current, focus, pulse duration) is demonstrated. Accelerating voltage of 50 kV, beam current of 0.1 - 1 mA and pulse duration of 15 - 150 ms was applied. Diameter of created holes ranged from 101 μm to 100 mm on incident side and from 100 to 101 μm on the opposite side (disc thickness 0.7 mm).