Cathodoluminescence is a phenomenon of some materials which is generated by electron beam interaction with a luminescence matter. The result of this interaction is production of the photons of infrared, visible and ultraviolet parts of electromagnetic spectrum. The technique to release the photons from luminescence materials can be applied to semiconductors, grains of minerals, chemical substances providing fluorescence; or specific labels bound to biological samples. The method serves for their deeper ultrastructural analysis. This presented study is focused on cryo-system which is a part of scanning electron microscope and its utilization in measurement of cathodoluminescence, especially the dependence of its spectrum on temperature of samples. and Katodoluminiscence je jev, který vzniká interakcí elektronového svazku s materiálem generujícím luminiscenci. Jeho výsledkem je produkce fotonů v infračervené, viditelné a ultrafialové oblasti elektromagnetického spektra. Metodika emise fotonů z luminiscenčních materiálů může být aplikována na polovodiče, zrna minerálů v horninách, chemické látky poskytující fluorescenci nebo specifické značky vázané na biologické vzorky a slouží k jejich hlubším analýzám. Předkládaná práce je zaměřena na využití systému chlazení vzorků v rastrovacím elektronovém mikroskopu a určení závislosti katodoluminiscenčního spektra na teplotě vzorku.