Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC

Title:

Zkušenosti s používáním ion beam figuring technologie v TOPTEC
Experiences with using of ion beam figuring technology at TOPTEC IPP CAS, v. v. i

Creator:

Polák, Jaroslav, Karabyn, Vasyl, Procháska, František, and Tomka, David

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:126cdf27-9381-4149-ad23-61bee34366d5
uuid:126cdf27-9381-4149-ad23-61bee34366d5

Subject:

IBF - ion beam figuring

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

This article presents in the Czech Republic unique technique of Ion Beam Figuring (IBF) used at the TOPTEC Centre. The IBF technology has become an established alternative to common polishing methods in manufacturing of optics and it is increasingly used for the precise figuring and finishing of optical elements, such as spheres, aspheres and free forms. The process is based on the workpiece surface bombarding by a stable beam of accelerated particles that locally removes material from the surface. Figure corrections are achieved by the workpiece surface rastering at appropriate, time-varying velocities. In this article besides the IBF method basis some possibilities of machine settings and examples of achieved figure corrections results with accuracy 50 nm PV are also shown. and Článek představuje v České republice unikátní technologii korektivního leštění iontovým svazkem (IBF) používanou na pracovišti ÚFP TOPTEC. Tato technologie se v poslední době stala zavedenou alternativou k ostatním metodám leštění používaným při výrobě ultra přesné optiky, kde slouží zejména k velmi preciznímu tvarovému korigovánísférických, asférických i freeform optických elementů. Leštění iontovým svazkem je založeno na ostřelování opracovávaného povrchu proudem urychlených částic, což vede k lokálnímu úběru materiálu. Tvarových korekcí je pak dosahováno rastrováním povrchu vhodnou časově modulovanou rychlostí. V presentovaném článku jsou kromě vysvětlení základních principů rovněž uvedeny některé možnosti nastavení zařízení a příklady dosažených výsledků tvarových korekcí, kdy se výsledná tvarová přesnost pohybovala okolo 50 nm PV.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

65-67

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2018 Volume:63 | Number:2

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false