Princip měření elastických konstant metodou LAW

Title:

Princip měření elastických konstant metodou LAW
Principle of LAW method used for measurement of elastic constants

Creator:

Picek, Roman and Boháč, Petr

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:6b9983d6-8a74-4415-9074-e76728046615
uuid:6b9983d6-8a74-4415-9074-e76728046615

Subject:

Laser acoustic method, Young’s modulus, Thin films, Amorphous silicon, Silicon carbide, Laserová akustická metoda, Youngův modul, tenké vrstvy, amorfní křemík, and karbid křemíku

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Elastic constants play a crucial role in mechanical properties of material. Quick and effective measurement method that determines this value is benefit for branches interesting in material science and development. One of these branches is deposition of thin films, where it is possible to produce material with various structures and properties. There is a perspective Laser Acoustic Wave (LAW) method described in the article. This method is based on a measurement of velocity and dispersion of surface acoustic waves (SAW). Using the LAW method thin films of amorphous silicon (a-Si) and silicon carbide (a-SiC) have been measured. Some of the obtained results are presented in the text. In the conclusions main advantages and disadvantages are pointed out and some solutions of the disadvantages are suggested. and Hodnoty elastických konstant (Youngův, resp. elastický modul a Poissonovo číslo) jsou klíčové z hlediska hodnocení mechanických vlastností materiálu. Rychlá a efektivní metodika měření těchto veličin je přínosem ve vývoji materiálů, např. tenkých funkčních vrstev a povlaků, kde je možno změnami parametrů procesu depozice připravit vrstvy o různých materiálových vlastnostech. V článku je popsána velmi perspektivní metoda měření LAW (z angl. Laser Acoustic Waves) určující elastické vlastnosti tenkých vrstev. Metoda je založena na měření rychlosti a disperze povrchového akustického vlnění (SAW - z angl. Surface Acoustic Waves). Jsou prezentovány některé výsledky měření vrstev amorfního křemíku a karbidu křemíku (a-Si a a-SiC) dosažené touto metodou. V závěru jsou uvedeny hlavní výhody a nevýhody LAW a nastíněno jejich možné řešení.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

4-6

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2007 Volume:52 | Number:1

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false