The paper deals with physical mechanisms of disintegration of solid particles in new device called WJM-“Water Jet Mill” and a global description of the said system includes internal milling cycles and particle size separators of a liquid suspension. A disintegration agent here is a high energy liquid jet influence with outlet velocity about 660 m∙s-1 and high level of cavitation in disintegration zones. Dominate disintegration mechanism affected by cavitation bubble implosions direct on a particle surface inside a liquid suspension brings about a particle refinement to the level under 100 nm followed with a small mechanical damage of ar impact target. in the paper, results of aggregates morphology of silicon nanoparticles prepared using disintegrator WJM have been presented via separated chapter of Atomic Force Microscopy AFM, Scanning Electronic Microscopy SEM, confocal optical microscopy, and laser diffraction. and Práce prezentuje fyzikální mechanismy desintegrace pevných částic v novém zařízení, pracovně nazývaném WJM (Water Jet Mill) a globální popis uvedeného systému včetně interních mlecích cyklů a rozměrových separátorů partikulární kapalinové suspenze. Desintegračním činitelem je zde působení vysokoenergetického kapalinového paprsku s výtokovou rychlostí cca 660 m∙s-1 a vysokou mírou kavitace v desintegračních zónách. Z dosahované míry zdrobnění až do oblasti pod 100 nm a z malého mechanického poškození impaktního terče vyplývá dominantní mechanismus dezintegrace implozí kavitačních bublin přímo na povrchu částic uvnitř kapalinové suspenze. V samostatných oddílech mikroskopie atomárních sil AFM, skenující elektronové mikroskopie SEM, konfokální optické mikroskopie a laserové difrakce jsou následně prezentovány výsledky analýzy morfologie agregátů nanočástic křemíku připravených v desintegrátoru WJM.