The article presents abilities of X-ray computed tomography to display internal structure of the electronic components. Tomographic measurements were performed on the speed sensor which operates on the principle of Hall probes. Examined layer with electronics inside the sensor had a thickness in the order of micrometers. Special nanoCT and the latest industrial micro-CT system ware used for visualisation of this layer. Feasibility of tomographic measurements with high resolution shows the requirements for preparation of a sample for such analyzes and the results which demonstrate the resolution of both the system. and Článek prezentuje schopnosti rentgenové počítačové tomografie zobrazení vnitřní struktury elektronických součástek. Tomografická měření byla provedena na snímači otáček fungujícím na principu Hallovy sondy. Zkoumána vrstva s elektronikou ve snímači měla tloušťku v řádu jednotek mikrometrů. K zobrazení této vrstvy byl použit speciální nanoCT systém a nejmodernější průmyslový mikroCT systém. Provedené měření s vysokým rozlišením ukazuje požadavky na úpravu vzorku pro takové analýzy a výsledky demonstrují rozlišovací schopnosti obou systémů.