This article is focused on evaluation of surface modification on monocrystalline wafer after treatment by pulsed laser radiation with the wavelength 1 064 nm both in surrounding atmosphere and under thin layer of demineralised water. Dependence of the created groove dimensions on the pulse energy was investigated and treated surface structural changes were compared. and Článek se zaměřuje na vyhodnocení povrchových změn na plátku monokrystalického křemíku po ovlivnění pulsním laserovým zářením o vlnové délce 1 064 nm jak v přirozené atmosféře, tak pod tenkou vrstvou demineralizované vody. V experimentu byla zjišťována závislost rozměrů vytvořené rýhy na energii pulsu a porovnány změny struktury ovlivněného povrchu.