This study concerns the comparison of possibilities of SPM and SEM techniques for characterization of solar cells. Advanced characterization of optoelectronic devices demands several microscopic techniques based on different physical principles with nano- and micro-meter resolution in order to localize nanosize features of device structure. SPM and SEM illustrate surface texturization at micro- and nano-scale, and thus are powerful instruments of nanotechnology. and Zvyšování kvality a účinnosti nových měřicích metod přispívá k pokročilé charakterizaci optoelektronických součástek a zařízení. Tyto metody využívají pro přesnější zkoumání vlastností struktur několik mikroskopických technik, které jsou založeny na fyzikálních principech ovlivněných nano a mikrorozměry zařízení. Tato studie porovnává možnosti SPM a SEM metod pro charakterizaci solárních článků. Metody SPM a SEM znázorňují povrchovou strukturu v mikro a nanoměřítku, a tudíž jsou silným nástrojem nanotechnologie.