Currently there exists a large number of different methods for surface characterization. Each method has its specific positives and negatives. This article offers a view at reference surface imperfections of optical surfaces using different observation techniques: scanning confocal microscopy, white light interferometry (WLI) and atomic force microscopy (AFM). Purpose of this is as complex as possible view to morphology and topography of defects in three-dimensional scale and comparison with their optical properties. and V současné době existuje velké množství různých metod pro charakterizaci povrchů. Každá metoda má své klady i zápory. Tento článek nabízí pohled na referenční povrchové vady optických ploch pomocí různých pozorovacích technik, a to skenovací konfokální mikroskopie, interferometrie v bílém světle a mikroskopie atomárních sil. Účelem je co nejkomplexnější pohled na morfologii defektů v trojrozměrném měřítku a porovnání s jejich optickými vlastnostmi.
This article deals with a surface imperfections evaluation. Different standardized methods for evaluation were theoretically analyzed. The target application is a surface imperfection evaluation of aspheric mirrors of space-based coronagraphs (METIS project). Based on obtained knowledge we created evaluation method with respect to the application to METIS mirrors. The chosen method based on radiometric measurement uses confocal microscope in reflectance mode resulting from norm ISO-10110-7, describes detected imperfections by ''spot-equivalent diameter'', and ''line-equivalent width''. Concrete application of this method is also demonstrated using the example of evaluation one of flight piece from coronagraph mirrors. and V rámci předkládaného článku jsou teoreticky analyzovány možnosti využití jednotlivých normovaných metod při hodnocení povrchových vad optických ploch (při tzv. scratch and dig analýze) s ohledem na aplikaci metody pro hodnocení zrcadel orbitálního koronografu METIS. Na základě získaných poznatků byla následně vytvořena metoda vycházející z normy ISO-10110-7, využívající radiometrické měření pomocí mikroskopu v reflektančním režimu a popisující detekované defekty pomocí ''spot-equivalent diameter,'' a ''line-equivalent width''. Vlastní aplikace této metody je rovněž demonstrována, a to na příkladu hodnocení jednoho z letových kusů zrcadel koronografu.