Simulace elektronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku

Title:

Simulace elektronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku
Simulation of electron-optical systems with high beam current

Creator:

Zelinka, Jiří, Oral, Martin, and Radlička, Tomáš

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:006f406c-59f9-4024-a647-0a40036843e1
uuid:006f406c-59f9-4024-a647-0a40036843e1

Subject:

space charge, electron emission, self-consistent simulation, aberration polynomial, prostorový náboj, elektronová emise, self-konzistentní simulace, and aberační polynom

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

The methods used for simulation of electron-optical systems with high beam current are briefly summarized, with the focus on the methods used at the Institute of Scientific Instruments of the Czech Academy of Sciences. It is possible to apply these methods on the entire electron optical system from the cathode surface to the working plane. The vicinity of the cathode is simulated with the particle-in-cell method, and the rest of the system is treated using our novel method based on the evaluation of an aberration polynomial. This method provides a significant improvement in accuracy of the computation without higher requirements on the computation time. and Předkládáme popis elektronově optických systémů s vysokým proudem ve svazku a metod, které se používají pro jejich simulaci. Blíže se pak zaměříme na algoritmus vyvinutý na Ústavu přístrojové techniky, který je použitelný ve všech oblastech simulovaného systému od povrchu katody až po pracovní rovinu. Bezprostřední okolí katody je simulováno známou metodou particle-in-cell, zatímco ve zbytku systému se k výpočtu rozložení hustoty prostorového náboje využívá nová metoda založená na vyhodnocení aberačního polynomu.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

266-269

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2017 Volume:62 | Number:10

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false