Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

Title:

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání
Technology of Schottky emission cathodes fabrication using improved electrochemical etching method

Creator:

Knápek, Alexandr, Paračka, Petr, and Chvátal, Miloš

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:040e280b-60e9-4479-8f40-237ff6db09af
uuid:040e280b-60e9-4479-8f40-237ff6db09af

Subject:

Schottky emission cathodes fabrication, electrolytic etching, výroba Schottkyho emisních katod, and elektrolytické leptání

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

The paper introduces a method for fabrication of microscopic cathode based on Schottky field emission. Schottky emission is the predominant electron source technology in actual focused electron beam equipment, including scanning electron microscopy (SeM), (TeM) transmission electron microscopy, auger systems, and semiconductor inspection tools. achieving proper results requires an electron source with the following ideal properties: small source size, low electron emission energy spread, high brightness (beam current per solid angle), low noise and long-term stability, simple and low-cost operation. recently new technical modifications have been made in order to improve current fabrication methods. Widely used ''drop off'' method was further improved in order to allow reproducible tip fabrication with ultra sharp tips which radius reaches tens of nanometres. and Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízkým šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou „drop off“ bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

139-141

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2010 Volume:55 | Number:5

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false