Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči

Title:

Zobrazovací spektroskopický reflektometr založený na membránovém děliči
Membrane beamsplitter based imaging spectroscopic reflectometer

Creator:

Vodák, Jiří and Ohlídal, Miloslav

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:51ae0187-b8dc-41e2-a319-88c228899cdf
uuid:51ae0187-b8dc-41e2-a319-88c228899cdf

Subject:

imaging spectroscopic reflectometry, membrane beamsplitter, Pellicle beamsplitter, image resolution, zobrazovací spektroskopická reflektometrie, membránový dělič, and rozlišení obrazu

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

A new version of an imaging spectroscopic reflectometer has been developed at the Institute of Physical Engineering, Faculty of Mechanical Engineering, Brno University of Technology. The device has been developed for measurements of thin film samples with high gradients of non-uniformity in their optical parameters. This device uses a membrane beamsplitter (typically called Pellicle beamsplitter) as a basic optical element. The new beamsplitter limits the usage of the device only for measurements in VIS and near IR range of light spectra. The new device is complementary to an older one which works also in UV spectral region, but with a lower sample resolution. Both devices together allow application of imaging spectroscopic reflectometry for a wide range of samples of non-uniform thin films. and Na ústavu Fyzikálního inženýrství FSI VUT v Brně byla vyvinuta nová varianta zobrazovacího spektroskopického reflektometru pro optickou charakterizaci tenkých vrstev neuniformních v optických parametrech. Přístroj vznikl za účelem rozšíření metody zobrazovací spektroskopické reflektometrie pro vzorky tenkých vrstev s velkými gradienty zmíněných neuniformit. Tohoto cíle bylo dosaženo vyšším obrazovým rozlišením nového přístroje. Při jeho návrhu bylo s výhodou využito membránového děliče, který však omezil spektrální rozsah použitého světla pouze na viditelnou a blízkou infračervenou oblast. Nový přístroj doplňuje již dlouhodobě funkční zobrazovací spektroskopický reflektometr pracující také v ultrafialové spektrální oblasti. Oba přístroje umožňují aplikaci zobrazovací spektroskopické reflektometrie na širokou množinu vzorků neuniformních tenkých vrstev.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

144-148

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2016 Volume:61 | Number:6

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false