Přístroje pro laserovou litografii nové generace: 3D strukturalizace v nanooblasti vyžaduje polohování s vysokou přesností

Title:

Přístroje pro laserovou litografii nové generace: 3D strukturalizace v nanooblasti vyžaduje polohování s vysokou přesností
New generation instruments for laser lithography

Creator:

Arnold, Steffen

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:6d376a38-8864-4e72-ab8d-9864f8837761
uuid:6d376a38-8864-4e72-ab8d-9864f8837761

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

Laser lithography is a crucial technology for a number of today production activities. Typical examples are micro and nanoelectronics, micro and nanofluidics, photonics and biotechnology. Current procedures for creation 2D structures (or 2.5D ones considering the layer thickness) in sensitive to light materials are at the edge of their limits both in the research and industry. But a progress in lithography is also not yet abandoned, using the new procedure it is for the first time possible to build up the very complex 3D micro and nanostructures in sensitive to light materials. and Laserová litografie je klíčovou technologií pro mnoho oborů dnešní doby. Typickými příklady jsou mikro a nanoelektronika, mikro a nanofluidika, fotonika nebo biotechnologie. Dosud běžné postupy, s jejichž pomocí se dají vytvářet dvourozměrné (případně i dvou a půl rozměrné, pokud vezmeme v úvahu tloušťku vrstvy) struktury ve světlocitlivých materiálech, dosahují jak ve výzkumu, tak v průmyslu hranice svých možností. Ale ani v oblasti laserové litografie se vývoj nezastavil. Pomocí nového postupu je poprvé možné vytvářet také velmi komplexní třírozměrné mikro a nanostruktury ve světlocitlivých materiálech.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

158-159

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2009 Volume:54 | Number:5

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false