Talbotův jev a jeho aplikace v optice

Title:

Talbotův jev a jeho aplikace v optice
Talbot’s effect and its applications in optics

Creator:

Mikš, Antonín and Pokorný, Petr

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:6f320466-d675-416e-b6ab-e26dc18bb7c9
uuid:6f320466-d675-416e-b6ab-e26dc18bb7c9

Subject:

Talbot effect, optical metrology, Talbotův jev, and optická metrologie

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

The paper presents and analyses the Talbot effect - self-imaging of a periodical structure in given distances behind a template, if the template is illuminated by a plane wave. This phenomenon has many applicationsin optical metrology and in industry. The detailed mathematical analysis with an amplitude grating illuminated by a monochromatic plane and spherical wave is performed. Afterwards, the applications in optical metrology, lithography, and measuring displacements are shown and described. and V práci je představen a analyzován Talbotův jev - samozobrazování periodické struktury v určitých vzdálenostech za svou předlohou, je-li tato předloha osvětlena rovinnou vlnou. Tento jev má řadu praktických aplikací v optické metrologii a průmyslu. Je provedena podrobná matematická analýza na příkladu amplitudové mřížky osvětlené monochromatickou rovinnou a sférickou vlnou, a dále jsou představeny a popsány vybrané aplikace využívající tento jev v oblasti optické metrologie, litografie a měření posunů.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

27-33

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2016 Volume:61 | Number:2

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false