Zápis tvarovaným elektronovým svazkem
- Title:
- Zápis tvarovaným elektronovým svazkem
Writing system with shaped electron beam - Creator:
- Kolařík, Vladimír, Matějka, František, Lencová, Bohumila, Kokrhel, Svatopluk, Horáček, Miroslav, Radlička, Tomáš, Urbánek, Michal, and Daněk, Lukáš
- Identifier:
- https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:b5189aa9-0ade-445d-8b79-69fa1b6815cb
uuid:b5189aa9-0ade-445d-8b79-69fa1b6815cb - Subject:
- e-beam lithograph, shaped electron beam, electron-optics column, electron scattering, writing speed, elektronový litograf, tvarovaný svazek, elektronově-optická soustava, rozptyl elektronů, and rychlost zápisu
- Type:
- model:article and TEXT
- Format:
- bez média and svazek
- Description:
- The paper describes an improvement of electron-beam lithograph BS 600 working with a fixed accelerating voltage of 15 kV and a rectangular-shape variable-size electron beam. The system has undertaken an important upgrade during last few years. Main goal was to increase the resolution and the writing speed. Achieved parameters and characteristics of the system are described as well as few examples of prepared structures. and Článek popisuje úpravu původního elektronového litografu BS 600 pracujícího s urychlovacím napětím 15 kV, který prošel v posledních letech výraznou rekonstrukcí. Základní požadavky jsou kladeny na zlepšení rozlišení a zvýšení expoziční rychlosti. Kromě vlastností a dosažených parametrů jsou uvedeny rovněž příklady struktur vytvořených pomocí tohoto systému. Litograf je využíván pro přípravu masek, přímou litografii i realizaci reliéfních struktur. Pro kontrolu realizovaných struktur byl použit mikroskop s rastrující sondou a rastrovací elektronový mikroskop.
- Language:
- Czech
- Rights:
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public - Coverage:
- 11-16
- Source:
- Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2008 Volume:53 | Number:1
- Harvested from:
- CDK
- Metadata only:
- false
The item or associated files might be "in copyright"; review the provided rights metadata:
- http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
- policy:public