Search

Start Over Coverage 17-18

2. Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem

Creator:
Stehlíková, Veronika , Urban, Martin, Nentvich, Ondřej, Sieger, Ladislav, and Mikuličková, Lenka
Format:
bez média and svazek
Type:
model:article and TEXT
Subject:
high-frequency plasma purification, ion beam treatment, microroughness, X-ray optics, optical mandrel, čištění vysokofrekvenčním plasmatem, opracování iontovým svazkem, mikrodrsnost, rentgenová optika, and optické mandrely
Language:
Czech
Description:
This article discusses the surface adjustment possibilities for X-ray optics manufacturing using galvanic replication method. For manufacturing of this kind of optics, the essential parameter is microroughness. This parameter determines incident rays reflection’s quality and effectivity. We have tested and compared two ways of refinementthe mandrel surface. The first technique was RF sputter etching and the second ion beam surface treatment. The result quality was evaluated using AFM and X-ray reflectometry. and Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.
Rights:
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ and policy:public