Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem

Title:

Zušlechťování mandrelů pro výroby RTG optik metodami vysokofrekvenčního odprašování a opracovávání iontovým svazkem
Refinement of mandrel’s surface for X-ray optics manufacturing using methods of RF sputter etching and ion beam treatment

Creator:

Stehlíková, Veronika , Urban, Martin, Nentvich, Ondřej, Sieger, Ladislav, and Mikuličková, Lenka

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:7397ae7a-24bd-41a1-87dd-8df558ad0035
uuid:7397ae7a-24bd-41a1-87dd-8df558ad0035

Subject:

high-frequency plasma purification, ion beam treatment, microroughness, X-ray optics, optical mandrel, čištění vysokofrekvenčním plasmatem, opracování iontovým svazkem, mikrodrsnost, rentgenová optika, and optické mandrely

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

This article discusses the surface adjustment possibilities for X-ray optics manufacturing using galvanic replication method. For manufacturing of this kind of optics, the essential parameter is microroughness. This parameter determines incident rays reflection’s quality and effectivity. We have tested and compared two ways of refinementthe mandrel surface. The first technique was RF sputter etching and the second ion beam surface treatment. The result quality was evaluated using AFM and X-ray reflectometry. and Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

17-18

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2018 Volume:63 | Number:1

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false