In the paper the limit of grinded surface micro-roughness of brittle materials (optical glass) is experimentaly determined with regard to the ability to record and reconstruct the surface by digital holography with expected quality. Multiwavelength phase shifted digital holographic interferometry (holographic contouring) is used and its performance is examined in those test. Holographic contouring is great candidate for precise shape measurement technique which could be applied in optical element manufacturing process - mainly during the iterative process of generating. Selected artifact with different radii of the spherical (convex and concave) surface shapes were prepared with different micro roughness and its optical surfaces were recorded holographically in the designed setup. Two different measures were selected to help to estimate the quality of recording. First of them was the intensity profile of the reconstructed surface changing in connection with micro roughness decrease. The shape of the intensity profile develops as the surface is altering from strongly diffusive to almost specular. The second one was the correlation of recorded and reconstructed phases (surfaces shapes) where the recording was done with close wavelengths. The correlation function decreases in connection with the noise amount increase in the data. The preliminary results are displayed showing that the surface could be measured by multiwavelength holographic contouring up to very high quality of lapped surface - almost polished - nearly specular. On the other hand the application of holographic contouring to polished surface measurement is still challenging and remains unresolved even with the multidirection illumination. and Článek se zabývá stanovení dolního limitu mikrodrsnosti, který je významný z pohledu rekonstruovatelnosti povrchu při holografickém měření tvaru povrchu budoucích optických elementů. Limit je určen pro velmi jemně broušené, téměř lesklé povrchy realizované z optického skla. Povrch artefaktů je nasnímán na dvou odlišných, ale blízkých vlnových délkách holograficky a pro zvýšení přesnosti je využita metoda fázového posuvu. Získaná fáze, která může být zobrazena formou kontur, je měřítkem pro odhad limitu mikrodrsnosti. Holografické konturování je velmi perspektivní z pohledu jeho využití právě pro měření tvaru broušených povrchů,zejména během iteračního procesu generování. Byly vybrány artefakty (vzorky pro měření) s různými poloměry kulových (konvexních a konkávních) ploch. Vybrané artefakty byly postupně zpracovávány a byly získány povrchy s různou mikrodrsností v závislosti na použitém volném brusivu. Dva různé ''parametry'' byly vybrány jako míry pro odhad kvality záznamu. Prvníz nich je profil intenzity rekonstruovaného povrchu, ten se mění ve vazbě na vývoj mikrodrsnosti povrchu. Jako druhá míra byla zvolena korelace zaznamenaných a rekonstruovaných fází (sledovaná v celém povrchu), při záznamu provedeném blízkými vlnovými délkami. Korelační koeficient klesá s nárůstem množství šumu v datech. Prvotní výsledky ukazují, že povrch lapovaného elementu může být zaznamenán a rekonstruován v dostatečné kvalitě až do vysokého stupně prolapovanosti, kdy se povrch stává téměř leštěným.
This article discusses the surface adjustment possibilities for X-ray optics manufacturing using galvanic replication method. For manufacturing of this kind of optics, the essential parameter is microroughness. This parameter determines incident rays reflection’s quality and effectivity. We have tested and compared two ways of refinementthe mandrel surface. The first technique was RF sputter etching and the second ion beam surface treatment. The result quality was evaluated using AFM and X-ray reflectometry. and Tento článek se zabývá možnostmi úpravy povrchu mandrelů pro výrobu rentgenové optiky metodou galvanické replikace. Při výrobě této optiky je zcela zásadním parametrem mikrodrsnost, určující kvalitu a efektivitu odrazu dopadajícího záření. Zabývali jsme se testováním a porovnáním dvou způsobů zušlechťování povrchu mandrelů. Byla použita technika čištění vysokofrekvenčním plasmatem a opracování iontovým svazkem. Kvalita výsledných povrchů byla vyhodnocována pomocí měření mikroskopie atomárních sil (AFM) a na RTG reflektometru.