Industrial application of nanocomposites dates back to 1996, however despite the effort put in since then, their potential is far from being exploited. Next to already published influence of deposition temperature and partial pressure of nitrogen, other key variables were suggested by Prof. Vepřek, who clarified their importance/ influence in terms of hardness and stability of mainly TiSiN composites. Based on his papers and recommendations, we studied an influence of optimal content of silicon and oxygen on hardness of nc-(Tix Al1-x)N/ a-Si3 N4 coating, which was deposited from rotary cylindrical cathodes using low voltage arc. and Průmyslové nasazení nanokompozitů se datuje už do roku 1996, nicméně navzdory od té doby vynaloženému úsilí, nebyl jejich potenciál zdaleka vyčerpán. Vedle již publikovaných vlivů depoziční teploty a parciálního tlaku dusíku, byly prof. Vepřkem navrženy další klíčové veličiny a objasněn jejich význam na tvrdost a stabilitu, především TiSiN kompozitů. Na základě jeho článků a doporučení byl studován vliv optimálního obsahu křemíku a vliv obsahu kyslíku na tvrdost vrstvy nc-(Tix Al1-x)N/ a-Si3 N4 , resp. nc-(Crx Al1-x)N/ a-Si3 N4 deponované z rotačních válcových katod s využitím nízkonapěťového oblouku.
Generally, the importance of surface treatments is highly appreciated. Surface treatments that may include ''only'' visual coatings and finishing or conversely surfaces very useful in optics, electronics, cutting, plastic working, resistance to corrosion and thermal protection, all they represent one of determining aims of science and development extending application possibilities of treated substrates or reaching their quite novel employment. This article does not pretend being highly scientific valuable, it attempts to describe the up to date technology state-of the-art usable in the industrial environment and especially useful for the Czech middle sized company.
It is advantageous to have a tool for a coating stoichiometry calculation to control coating deposition made from two different cathodes. Stoichiometry depends not only on arc currents ratio, but also on intensity and shape of magnetic field. This relation has been experimentally verified and is presented for TiAlN coating prepared by a new coating device Pi111. With the aid of this tool, it is possible to estimate coating parameters and to reach the desired Al/Ti ratio in a coating. With increasing content of Al in a coating, cubic structure shifts to hexagonal structure. This change proves itself not only by hardness decrease, but also by a change of coating growth rate. For detailed description of this effect, method of calculation of coating stoichiometry described above was used., Článek je zaměřen na problematiku určování stechiometrie vrstev nanášených metodou PVD. Patentovaný systém rotačních katod umožňuje ze znalosti procesních parametrů určit složení výsledné vrstvy. To je ovlivněno nejen poměrem proudů do oblouků, ale také intenzitou a tvarem magnetických polí katod. Tato závislost byla experimentálně prokázána pro vrstvu Ti1-xAlx N připravenou na novém povlakovacím zařízení Pi111. Této závislosti bylo dále využito pro vývoj metody umožňující optimalizovat procesní parametry tak, abychom získali vrstvu Ti1-xAlx N s požadovanou stechiometrií. Se zvyšujícím se obsahem hliníku v povlaku Ti1-xAlx N dochází ke změně kubické struktury na hexagonální. Tato změna je doprovázena nejen snížením mikrotvrdosti vrstvy, ale také změnou rychlosti růstu vrstvy. Pro odhalení tohoto efektu byla s úspěchem využita metoda výpočtu stechiometrie vrstvy zmíněná výše., and Autor: M. Jílek ml.