This work describes a quantitative evaluation of interference patterns applied for testing of optical surfaces. The proposed method is based on the correlation between measured and virtual (nominal) interferograms and employment of mathematical nonlinear optimization. In contrast to most of common phase evaluation methods the proposed method does not need a detailed analysis of the interference patterns and phase unwrapping. The deviation of the measured surface from its nominal shape is modeled using a suitable function with unknown parameters, which are calculated by optimization of the merit function. The merit function is the correlation coefficient between measured and nominal interferogram, which characterizes the similarity of both interferograms. The functionality of the method was verified both by computer simulations and practical experiments. The method is applicable for the interferometric testing of flat, spherical and aspherical surfaces. and V práci je popsána metoda kvantitativního vyhodnocování interferenčního pole při kontrole tvaru optických ploch. Navržená metoda využívá korelace mezi měřeným a virtuálním (nominálním) interferogramem a matematických metod nelineární optimalizace. Na rozdíl od většiny běžně používaných metod nevyžaduje navržená metoda detailní analýzu interferenčního pole a odstranění nespojitostí fázových hodnot (tzv. phase unwrapping). Odchylka kontrolované plochy od jejího nominálního tvaru je modelována pomocí vhodné funkce s neznámými parametry, které jsou získány optimalizací meritní funkce. Za meritní funkci je zvolen korelační koeficient mezi měřeným a virtuálním (nominálním) interferogramem, který charakterizuje podobnost obou interferogramů. Funkčnost metody byla ověřena jak pomocí počítačových simulací, tak i na reálných případech měření. Metoda je použitelná pro interferometrickou kontrolu rovinných, sférických i asférických ploch.
The paper presents and analyses the Talbot effect - self-imaging of a periodical structure in given distances behind a template, if the template is illuminated by a plane wave. This phenomenon has many applicationsin optical metrology and in industry. The detailed mathematical analysis with an amplitude grating illuminated by a monochromatic plane and spherical wave is performed. Afterwards, the applications in optical metrology, lithography, and measuring displacements are shown and described. and V práci je představen a analyzován Talbotův jev - samozobrazování periodické struktury v určitých vzdálenostech za svou předlohou, je-li tato předloha osvětlena rovinnou vlnou. Tento jev má řadu praktických aplikací v optické metrologii a průmyslu. Je provedena podrobná matematická analýza na příkladu amplitudové mřížky osvětlené monochromatickou rovinnou a sférickou vlnou, a dále jsou představeny a popsány vybrané aplikace využívající tento jev v oblasti optické metrologie, litografie a měření posunů.