Laserový systém pro odměřování reliéfu MEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání

Title:

Laserový systém pro odměřování reliéfu MEMS vytvářeného metodou hlubokého reaktivního leptání
Laser system for determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system

Creator:

Maňka, Tadeáš, Šerý, Mojmír, Lazar, Josef, Číp, Ondřej, Krátký, Stanislav, and Zemánek, Pavel

Identifier:

https://cdk.lib.cas.cz/client/handle/uuid:253f5751-f0ab-42d9-9190-d4d4d9b8c2e9
uuid:253f5751-f0ab-42d9-9190-d4d4d9b8c2e9

Subject:

laser interferometry, reactive ion etching, micro-electromechanical system, laserová interferometrie, reaktivní iontové leptání, and mikro-elektro-mechanický systém

Type:

model:article and TEXT

Format:

bez média and svazek

Description:

We present a method of laser interferometry appropriate for precise determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system (DRIE), primarily used for manufacturing of micro-electro-mechanical systems (MEMS). The system uses previous interferometer designs developed at the Institute of Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i. (ISI). We designed and manufactured a measurement system for specific MEMS and its functionality verified with the KLATencor D-120 profilemeter. and Představujeme laserovou interferometrickou metodu pro přesné měření hloubky leptu v průběhu procesu hlubokého reaktivního iontového leptání (DRIE), která se primárně využívá při zhotovování mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS). Systém využívá předchozích návrhů interferometrických systémů vyvinutých na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. (ÚPT). Navrhli jsme a zkonstruovali odměřovací zařízení pro specifickou oblast MEMS systémů a jeho funkčnost ověřili měřením na profilometru KLA Tencor D-120.

Language:

Czech

Rights:

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
policy:public

Coverage:

270-272

Source:

Jemná mechanika a optika: věda - výzkum - technologie - realizace : technický oborový časopis = Fine mechanics and optics | 2017 Volume:62 | Number:10

Harvested from:

CDK

Metadata only:

false