This paper reports on phase retrieval method in non-nulling dual-wavelength interferometry. It uses synthetic phase as shape estimation for determination of fringe orders within every pixel. The fringe order map is subsequently used for unwrapping of phase measured at shorter wavelengths. It was experimentally shown that even for inaccurate synthetic phase, the computed phase for short wavelength is correct. The key point is analysis of phase fields in spatial derivatives where the sensitivity to phase distortions is lower instead of analyzing the phase fields themselves. and Tento příspěvek popisuje metodu získávání a zpracování fáze v interferometrii s dvěma vlnovými délkami. Přístup, nazývaný hierarchická demodulace, využívá syntetickou fázi jako odhad pro stanovení celočíselného násobku 2p v rámci každého pixelu, čímž lze dosáhnout demodulace fázové mapy i v případě podvzorkovaného interferogramu. Standardní procedura hierarchického rozbalení předpokládá nízké zkreslení syntetické fáze, což není v praxi vzhledem k disperzi a dalším vlivům často splněno. Nový přístup popsaný v tomto článku přenáší problém demodulace fáze do prostoru prostorových změn (derivace) fáze, kde je přirozeně vliv zkreslení nižší. Bylo experimentálně ukázáno, že i při nepřesné syntetické fázi je demodulovaná fáze správná.
We present a method of laser interferometry appropriate for precise determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system (DRIE), primarily used for manufacturing of micro-electro-mechanical systems (MEMS). The system uses previous interferometer designs developed at the Institute of Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i. (ISI). We designed and manufactured a measurement system for specific MEMS and its functionality verified with the KLATencor D-120 profilemeter. and Představujeme laserovou interferometrickou metodu pro přesné měření hloubky leptu v průběhu procesu hlubokého reaktivního iontového leptání (DRIE), která se primárně využívá při zhotovování mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS). Systém využívá předchozích návrhů interferometrických systémů vyvinutých na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. (ÚPT). Navrhli jsme a zkonstruovali odměřovací zařízení pro specifickou oblast MEMS systémů a jeho funkčnost ověřili měřením na profilometru KLA Tencor D-120.
The air refractive index is an important parameter in interferometric length measurements, since it substantially affects the measurement accuracy. We present a refractive index of air measurement method based on measuring the optical path difference between the ambient air and the vacuum inside a permanently evacuated double-spaced cell using a combination of laser and low-coherence interferometry. and Při interferometrických měřeních délky je jednou z klíčových měřených veličin hodnota indexu lomu vzduchu, neboť může zásadním způsobem ovlivnit nejistoty prováděných měření. V tomto článku se zabýváme přímou metodou měření indexu lomu vzduchu, která je založena na měření rozdílu optických drah mezi vzduchem a vakuem uvnitř permanentně evakuované dvoukomorové kyvety pomocí kombinace laserové interferometrie a interferometrie nízké koherence.