In this article we present laser diode based tool for optical manipulation with microobjects. This tool is very suitable for micromanipulations with large spectrum of speciments in the diameter range 0.5 - 30 μm. Adapter is directly mounted to the microscope without any aditional improvements and fits to many comercially available microscopes. Key feature of this adapter is compactness, usability and simple handling. With this adapter user takes advantage of wide spectrum of comercially available laser diodes with different wavelengths. For this reason the tool can be used in many areas such as biology, medicine and measurements.
The paper presents brief overview of the history and modern trends of optical micromanipulations techniques and their applications in the group of Optical micromanipulation techniques at the Institute of Scientific Instruments of the ASCR, v.v.i. The presented results deal especially with integration of optical micromanipulations and microanalytical systems ''lab-on-a-chip'' (delivery and separation of microobjects and nanoobjects suspended in the fluid, usage of photopolymerization to manufacture some parts of the above mentioned systems, combination of optical manipulations with optical spectroscopy) and with the study of interaction between light and mass demonstrated by the phenomenon of optical binding of objects. and Článek podává stručný přehled historie a aktuálních trendů v oblasti využití optických mikromanipulačních technik a prezentuje nejnovější výsledky, kterých v této oblasti dosáhla skupina Optických mikromanipulačních technik Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. Tyto výsledky se týkají zejména integrace optických mikromanipulací do mikroanalytických systémů typu ''lab-on-a-chip'' (doprava a separace mikro- a nanočástic suspendovaných v kapalině, příprava komponent výše zmíněných systémů pomocí fotopolymerace, kombinace optických mikromanipulací s optickou spektroskopií) a studia interakce mezi světlem a hmotou manifestované prostřednictvím fenoménu optického vázání objektů.
Laboratories of optical micromanipulation techniques (OMITEC - see http://www.isibrno.cz/omitec) were founded ten years ago as a part of Department of Quantum Light Generators of Institute of Scientific Instruments. In cooperation with Institute of Physical Engineering of Faculty of Mechanical Engineering of Technical University in Brno intensive research of interactions between laser radiation and solid objects has begun. This research deals with three basic categories - non-contact manipulations with microand nano-objects, microablation and using photopolymerization to create structures in microscopic scale.
We present a method of laser interferometry appropriate for precise determination of the depth of etching in a deep reactive ion etching system (DRIE), primarily used for manufacturing of micro-electro-mechanical systems (MEMS). The system uses previous interferometer designs developed at the Institute of Institute of Scientific Instruments of the CAS, v. v. i. (ISI). We designed and manufactured a measurement system for specific MEMS and its functionality verified with the KLATencor D-120 profilemeter. and Představujeme laserovou interferometrickou metodu pro přesné měření hloubky leptu v průběhu procesu hlubokého reaktivního iontového leptání (DRIE), která se primárně využívá při zhotovování mikro-elektro-mechanických systémů (MEMS). Systém využívá předchozích návrhů interferometrických systémů vyvinutých na Ústavu přístrojové techniky AV ČR, v.v.i. (ÚPT). Navrhli jsme a zkonstruovali odměřovací zařízení pro specifickou oblast MEMS systémů a jeho funkčnost ověřili měřením na profilometru KLA Tencor D-120.